CCCL01微納尺寸測量儀

將顯微成像與傳統影像測量相結合，實現了微小特征的大范圍測量。配置電動變倍鏡頭，可自動切換到不同的倍率，探測各種精密微觀二維尺寸特征。測量儀功能豐富，擁有自動調色增強圖像效果功能，滿足大范圍測量拼圖功能，實現自動抓取擬合測量功能，可進行各種二維尺寸點、線、圓等的測量和形位公差的評價，可進行各種段差、角度、平面度測量。

CCCL01微納尺寸測量儀可用于印制電路板微切片、精密機械零件、晶圓刻蝕微結構、光通訊器件、精密模具、磁性材料、精密沖壓、手機精密配件、醫療器械、鐘表、刀具、計量檢測等領域。

技術規格

表2

注：

*1在調焦位置，使用環境溫度為+20±1.0℃時，測量標準線對分辨率板。

*2在調焦位置，使用環境溫度為+20±1.0℃時，測量微納米標準板。

*3在調焦位置，使用環境溫度為+20℃±1.0℃時，測量微納米標準板。

*4為Z軸機械精度，采用鏡頭聚焦測高的精度依賴于工件表面。

*5需選配光學高度測量傳感測頭。